中芯MEMS芯片成功通过验证

　　中芯国际MEMS芯片技术获得认证。中芯国际集成电路制造有限公司(中芯国际)和全球领先的基于硅MEMS的流体控制开发商Microstaq今日宣布，Microstaq的基于VentilumTMMEMS的芯片已成功通过验证。
　　“我们已接受过性能规格的dieandrun内部测试”，Microstaq工程部副总裁MarkLuckevich表示，“Ventilum芯片通过了最高级别的认证，我们正期待着这项技术应用于暖通空调和制冷市场。”
　　“这是一个激动人心的里程碑，标志着中芯国际MEMS技术的进步，中芯国际市场及行销中心副总裁陈秋峰表示，”MEMS是一个潜在的市场，在很多领域中都有着十分广阔的应用前景。该技术成果证明了中芯国际在完整的MEMS工艺上的能力。”
　　在2008年第二季度，中芯国际开始提供MEMS代工业务。目前中芯国际具备MEMS的各种主要工艺流程，中芯国际正与客户在包括光学微机电系统，麦克风，加速计，射频微机电系统，微显示器等MEMS产品上密切合作。
　　“我们对MEMS产业前景非常乐观，”中芯国际MEMS技术发展中心副总经理傅焕松表示，”中芯国际致力于提供各项MEMS服务。我们正与单片CMOS技术伙伴在MEMS集成，以及WLP(晶圆级封装)方面合作。此外，我们已开始与一些国内的大学和研究所接洽合作，以推动微机电系统平台的开发，从而帮助客户简化MEMS设计以及缩短面市时间。”
　　Microstaq的Ventilum芯片技术是业界应用于电子阀门的最新最领先的技术。不仅比传统阀门更为节省能源，而且在流体控制方面的改进可使空调系统能耗降低25%。