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气体稀释校准器PCB抄板克隆案例

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  技术参数:
  气动部分:
  流量精度:满刻度的±1.0%
  流量可重复性:满刻度的±0.15%
  流量线性:满刻度±0.5%
  稀释气:
  质量流量控制器量程:0-10SLPM(可选0-20SLPM)
  输入压力:20—35psig
  接口1(可选接口2)
  源气:
  质量流量控制器量程0—100SCCM(可选0-50,0-200,0-500SCCM,0-1SLM)
  可选第二源质量流量控制器
  输入压力:20-35psig
  3个气瓶输入接口(可选3个附加口)
  源集气管排气口
  可选内部渗透炉
  可用流量控制器选择稀释比率变化,加上第二个源流量控制器用于更大动态量程
  电磁阀用于稀释器,源和排气口
  8个校准气体输出口
  可选聚四氟乙烯电磁阀
  聚四氟乙烯气相滴定反应室符合EPA标准
  95%设置点完成少于60秒
  接触气体的材料均为不锈钢,聚四氟乙烯TeflonTM、PEEKTM或HalarTM;所有的套接口材料使用VitonTM或CalrezTM和其他相似材料密封。
  可选内部渗透炉:
  玻璃炉燃烧室长13.2cm, 内径3.02 cm, 容积94 cm3, 开放直径2.54 cm
  栽气预加热器
  炉操作温度保持在设置点3℃,高于环境60℃的+0.1℃
  预热时间少于30分钟
  100SCCM的标定运载流量保持在使用精密质量流量控制器的1%之内
  带入口过滤器的内部供气通道,高效接口过滤器和污染涤除气罐
  可选渗透管
  臭氧发生器:
  输出范围:流量在5SLM时为0.05-1.5ppm(可先输出扩展范围在流量15SLM时为0.05-1ppm)
  精度为:定点的±2%或5SLM时为±3ppb
  100SCCM的标定臭氧流量,保持在流量控制器的±1SCCM之内
  紫外灯保持在50℃,±0.1℃